產品名稱:NAGANO變送器ZT15-Y01 (-15-3000PSI)
產品簡介:
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NAGANO KEIKI壓力變送器ZT15系列介紹
這些壓力變送器專為半導體行業設計,將壓力轉換為電信號,并通過配備蒸發涂層型半導體應變片和內置電子電路的傳感元件進行傳輸。提供兩種類型的壓力變送器:適用于高純度氣體的UC/EP級和BA/GP級,在不影響氣密性的情況下降低了氣體管道的成本。
?采用鈷鎳合金或SUS316L制成的高耐腐蝕壓力傳感器直接焊接到接頭上,使其具有優異的耐腐蝕性、氣密性、長期穩定性和可靠性。
?幾乎沒有可能導致氣體污染的死角。
?提供表壓、復合壓和絕對壓三種測量類型。
NAGANO KEIKI壓力變送器ZT15-Y01 (-15-3000PSI)技術參數
流體: | 半導體工業工藝氣體 |
壓力范圍: | -15~3000PSIG |
連接方式: | 1/4、3/8 UJR、VCR、CVC 等 |
壓力傳感器密封方式: | 焊接式 |
工作溫度: | -20 至 70°C(無結冰或凝露) |
儲存溫度: | -30 至 80°C(無結冰或凝露) |
防護等級: | 室內使用 |
重量: | 約 180 克(不含電纜,具體重量取決于接頭形狀) |
Fluid | Process gasses for semiconductor industry |
Pressure range | -15~3000PSIG |
Connection | 1/4, 3/8 UJR, VCR, CVC, etc. |
Pressure sensor seal method | Welding type |
Operating temperature | -20 to 70°C (No freezing or condensation) |
Storage temperature | -30 to 80°C (No freezing or condensation) |
Enclosure | Indoor use |
Weight | Approx. 180 g (Excluding cable, varies depending on the fitting shape) |
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